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而除了 3nm 制程工藝，臺積電也在謀劃更先進的 2nm 工藝的量產事宜，這一工藝計劃在 2025 年量產。
外媒的報道顯示，臺積電在近期已宣布，他們將投資 340 億美元，推動 2nm 制程工藝的量產，他們已經獲得了建廠土地的租賃許可。
另外，有外媒在報道中表示，臺積電的高層，正在同相關方，就建設 2nm 制程工藝工廠所需的土地進行談判，超過 90% 的業主已經同意，預計最遲在 6 月份能獲得建廠所需的全部土地。
除了土地，臺積電 2nm 制程工藝工廠在廠房的建設方面也需要大量的資金，但花費最多的，預計會是更高端的極紫外光刻機和其他的先進設備。
臺積電從第二代的 7nm 工藝開始采用極紫外光刻機，隨后量產的 5nm 等先進制程工藝，都需要極紫外光刻機，他們也從阿斯麥采購了大量的極紫外光刻機，而更先進的 2nm 工藝所需要的將是高數值孔徑極紫外光刻機。
阿斯麥已經推出的 TWINSCAN NXE:3400B、TWINSCAN NXE:3400C、TWINSCAN NXE:3600D 極紫外光刻機中，最先進的 TWINSCAN NXE:3600D 最高也只能支持 5nm 和 3nm 工藝的量產。
而從阿斯麥一季度的財報來看，他們在今年一季度交付 3 臺極紫外光刻機，營收 5.94 億歐元，平均一臺的售價接近 2 億歐元。未來推出的支持 2nm 制程工藝的更先進的極紫外光刻機，售價將會更高。
（邯鄲小程序開發）
